高純氣體通常是指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。高純氣體對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?,在半?dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣;高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無機(jī)高純氣體。
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